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實驗型氧化亞硅設備適配實驗室小批量研發(fā)，集成真空加熱、研磨分散、冷凝收集核心模塊，支持多溫區(qū)精準控溫與高真空環(huán)境作業(yè)，溫控精度高、粒度調節(jié)靈活，可完成氧化亞硅制備全流程實驗，滿足材料配方優(yōu)化、工藝參數調試需求。